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193nm激光器 準分子加工系統
193nm激光器 準分子加工系統產品外觀圖
典型的均勻光斑形貌
微加工系統
產品特點：
全部實現風冷，無需水冷；
結構緊湊，脈沖頻率高，zui高重復頻率到1kHz；
全新技術金屬-陶瓷腔體；
光束均勻性好
集成的真空泵和鹵素濾光片
激光頭體積<3L
提供能量穩定模式，保證能量穩定輸出；
應用：
微加工
激光融蝕
醫學（眼睛手術）
光譜
計量
光纖布拉格光柵刻寫
參數
ATLEX-300-I 參數
| ATLEX-300-I 參數 | ||||||
| 氣體介質 | F2 | ArF | KrF | XeCl | XeF | 單位 |
| 波長 | 157 | 193 | 248 | 308 | 351 | nm |
| 高壓開關技術 | 固態開關 |
| ||||
| zui大脈沖能量1 | 1 | 10 | 15 | 8 | 7 | mJ |
| zui大平均功率 | 0.2 | 2.4 | 4.0 | 2.0 | 1.7 | W |
| zui大重復頻率 | 300 | Hz | ||||
| 脈寬2 | 5-8 | ns | ||||
| 光斑尺寸（V*H） | 4*6 | mm | ||||
| 光束發散角（V*H） | 1*2 | mrad | ||||
| 能量穩定性 | <3 | % | ||||
| 尺寸（L*W*H） | 540*470*370 | mm | ||||
| 重量 | 60 | kg | ||||
| 制冷 | 風冷 |
| ||||
| 供電要求 | 230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz |
| ||||
- 在低重復頻率下測量，應用能量穩定模式降會有10%的輸出能量損失
- 典型值，半高全寬（FWHM）
ATLEX-500-I 參數
| ATLEX-500-I 參數 | ||||||
| 氣體介質 | F2 | ArF | KrF | XeCl | XeF | 單位 |
| 波長 | 157 | 193 | 248 | 308 | 351 | nm |
| 高壓開關技術 | 固態開關 |
| ||||
| zui大脈沖能量1 | 1 | 10 | 15 | 8 | 7 | mJ |
| zui大平均功率 | 0.5 | 4.0 | 6.5 | 3.0 | 2.5 | W |
| zui大重復頻率 | 500 | Hz | ||||
| 脈寬2 | 5-8 | ns | ||||
| 光斑尺寸（V*H） | 4*6 | mm | ||||
| 光束發散角（V*H） | 1*2 | mrad | ||||
| 能量穩定性 | <3 | % | ||||
| 尺寸（L*W*H） | 540*470*370 | mm | ||||
| 重量 | 60 | kg | ||||
| 制冷 | 風冷 |
| ||||
| 供電要求 | 230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz |
| ||||
- 在低重復頻率下測量，應用能量穩定模式降會有10%的輸出能量損失
- 典型值，半高全寬（FWHM）
ATLEX-1000-I 參數
| ATLEX-1000-I 參數 | |||
| 氣體介質 | ArF | KrF | 單位 |
| 波長 | 193 | 248 | nm |
| 高壓開關技術 | 固態開關 | ||
| zui大脈沖能量1 | 10 | 15 | mJ |
| zui大平均功率 | 4.0 | 6.5 | W |
| zui大重復頻率 | 1000 | Hz | |
| 脈寬2 | 5-8 | ns | |
| 光斑尺寸（V*H） | 4*6 | mm | |
| 光束發散角（V*H） | 1*2 | mrad | |
| 能量穩定性 | <3 | % | |
| 尺寸（L*W*H） | 540*470*370 | mm | |
| 重量 | 60 | kg | |
| 制冷 | 風冷 |
| |
| 供電要求 | 230 VAC/10A/1 phase/50-60Hz |
| |
- 在低重復頻率下測量，應用能量穩定模式降會有10%的輸出能量損失
- 典型值，半高全寬（FWHM）
ATLEX-300-FBG 參數
| ATLEX-300-FBG 參數 | |||
| 氣體介質 | ArF | KrF | 單位 |
| 波長 | 193 | 248 | nm |
| 高壓開關技術 | 固態開關 | ||
| zui大脈沖能量1 | 10 | 15 | mJ |
| zui大平均功率 | 2.4 | 4.0 | W |
| 空間相關性(垂直方向) | >300 | >300 | um |
| zui大重復頻率 | 300 | Hz | |
| 脈寬2 | 5-8 | ns | |
| 光斑尺寸（V*H） | 4*6 | mm | |
| 光束發散角（V*H） | 1*2 | mrad | |
| 能量穩定性 | <3 | % | |
| 尺寸（L*W*H） | 540*470*370 | mm | |
| 重量 | 60 | kg | |
| 制冷 | 風冷 |
| |
| 供電要求 | 230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz |
| |
- 在低重復頻率下測量，應用能量穩定模式降會有10%的輸出能量損失
- 典型值，半高全寬（FWHM）
ATLEX-500-FBG 參數
| ATLEX-500-FBG 參數 | |||
| 氣體介質 | ArF | KrF | 單位 |
| 波長 | 193 | 248 | nm |
| 高壓開關技術 | 固態開關 | ||
| zui大脈沖能量1 | 10 | 15 | mJ |
| zui大平均功率 | 4.0 | 6.5 | W |
| 空間相關性(垂直方向) | >300 | >300 | um |
| zui大重復頻率 | 500 | Hz | |
| 脈寬2 | 5-8 | ns | |
| 光斑尺寸（V*H） | 4*6 | mm | |
| 光束發散角（V*H） | 1*2 | mrad | |
| 能量穩定性 | <3 | % | |
| 尺寸（L*W*H） | 540*470*370 | mm | |
| 重量 | 60 | kg | |
| 制冷 | 風冷 |
| |
| 供電要求 | 230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz |
| |
- 在低重復頻率下測量，應用能量穩定模式降會有10%的輸出能量損失
- 典型值，半高全寬（FWHM）
ATLEX-LR 參數
| ATLEX-LR 參數 | ||
| 氣體介質 | ArF | 單位 |
| 波長 | 193 | nm |
| zui大脈沖能量1 | 12 | mJ |
| zui大穩定輸出能量 | 10 | mJ |
| 脈寬2 | 5 | Ns |
| 光斑尺寸（V*H） | 4*6 | mm |
| 光束發散角（V*H） | 1*2 | mrad |
| 能量穩定性 | <2 | % |
| 尺寸（L*W*H） | 540*470*370 | mm |
| 重量 | 60 | kg |
| 制冷 | 風冷 |
|
| 供電要求 | 230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz |
|
- 在低重復頻率下測量，應用能量穩定模式降會有10%的輸出能量損失
- 典型值，半高全寬（FWHM）
